【業務連絡】エッチング結果＋こなた

かなり間があいてしまいましたが、エッチング結果報告です。

実施日時：2007/6/21 13:00頃
使用基板：銅誘電体基板, Er=9.5, 0.80t



【各種設定】

●スピナー
回転速度700rpm
回転時間7～8sec

●AZレジスト塗布回数：1回

●露光時間：3min

●エッチング速度：5

【結果と検討】

露光時間を短く（4min→3min）することにより、前回のように銅が削れ過ぎてしまう現象はほぼ見られなくなった。

ライン幅が200μm程度の部分が12箇所あったが、1箇所を除いてエッチングに成功した。
1箇所で失敗となった原因は、削れ過ぎによる断線。



【こなた】



【各種設定】

●マスク
OHPシートにインクジェットプリンタで印刷して作成。
重ね印刷（同じシートの同じ場所に複数回連続で印刷を行って、黒を濃くすること）は、アライメントの問題が大きいので行わなかった。

エッチングに関するパラメータは上に同じ。

【結果と検討】

予想通りの出来具合であった。
右側の台詞の部分が削れ過ぎて読みづらくなっているが、これはレジストを露光させる際に、別に作っておいた台詞部分のみのマスクを、絵の部分のマスクの上に重ねて置いていたために、光の回折の影響がより濃く現れてしまったことが原因である。

マスクはきちんと一枚で作りましょう。
(´･ω･`)

また、よく見ると水平方向に縞模様が出てしまっているが、これはプリンタの性能が今一つであったためで、マスク自体にもこの縞模様は確認できる。
もっと綺麗にOHPシートを印刷できるプリンタが欲しい。

ちなみに、横幅は3.5cmくらい。
まゆ毛の幅は約200μm。
まゆ無しにならなくて良かったですw
(´･ω･`)