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『やまもんりゅうブログ』    人生はもっと面白いはず。                                            2006/6/29開設
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HN:
Tやまもん
性別:
男性
職業:
製造業
仕事・趣味
1. 数bit移相器の小型/多層/低損失化

2. アレーアンテナのビーム形成いろいろ ←new!

----趣味----
・基板エッチング
(線幅50μm、線間隔100μmまで可、だった。)

・チップ部品実装
(はんだ付け、ワイヤーボンディング etc.)

・木版画 ←new!
 日本板画院
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>金大でニコニコしている方々

かがみん基板の写真だけ撮れたので、取り急ぎup。

かがみんエッチング基板01

手近にあった1005型(1.0×0.5mm)チップコンデンサを基板の上に3個ほど置いて撮影したので、かがみんの線幅等の参考になれば。

残りのネタは、綺麗に写真が撮れ次第upします。
それまでの間、ニコニコ動画で見つけた『技術の無駄遣い』でお楽しみ下さい…。




マスク作成→露光といった、おおまかな流れは自分と同じです。
( ゚∀゚)o彡゜サンハヤト!サンハヤト!


この動画の作者は、てぬぐいの作者と実は同じ。


コメントで書きこまれた、教授と作者のかけ合いの台詞が秀逸ですw
流れる前にぜひー。



ちなみに、動画の作り方を現在調査中ですw
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【エッチング結果報告】

実施日時:2007/7/27 8:00~

スピナー:700rpm, 7sec
露光時間:3.3min
エッチング速度:4.5

結果:良好


夏場はエッチングし易いので、適当なパラメータでも何とかなる。
コプレーナの冶具基板を作るときに、裏面に一部導体を残しておく仕様にしているのだが、わざわざマスクを作って一から裏面エッチングをするのも面倒なので、残したい所に目視でマスキングテープを貼ってエッチングした。
何とかなった。
かなり間があいてしまいましたが、エッチング結果報告です。

実施日時:2007/6/21 13:00頃
使用基板:銅誘電体基板, Er=9.5, 0.80t

20070620_エッチング結果

【各種設定】

●スピナー
回転速度700rpm
回転時間7~8sec

●AZレジスト塗布回数:1回

●露光時間:3min

●エッチング速度:5

【結果と検討】

露光時間を短く(4min→3min)することにより、前回のように銅が削れ過ぎてしまう現象はほぼ見られなくなった。

ライン幅が200μm程度の部分が12箇所あったが、1箇所を除いてエッチングに成功した。
1箇所で失敗となった原因は、削れ過ぎによる断線。



【こなた】

エッチング結果

【各種設定】

●マスク
OHPシートにインクジェットプリンタで印刷して作成。
重ね印刷(同じシートの同じ場所に複数回連続で印刷を行って、黒を濃くすること)は、アライメントの問題が大きいので行わなかった。

エッチングに関するパラメータは上に同じ。

【結果と検討】

予想通りの出来具合であった。
右側の台詞の部分が削れ過ぎて読みづらくなっているが、これはレジストを露光させる際に、別に作っておいた台詞部分のみのマスクを、絵の部分のマスクの上に重ねて置いていたために、光の回折の影響がより濃く現れてしまったことが原因である。

マスクはきちんと一枚で作りましょう。
(´・ω・`)

また、よく見ると水平方向に縞模様が出てしまっているが、これはプリンタの性能が今一つであったためで、マスク自体にもこの縞模様は確認できる。
もっと綺麗にOHPシートを印刷できるプリンタが欲しい。

ちなみに、横幅は3.5cmくらい。
まゆ毛の幅は約200μm。
まゆ無しにならなくて良かったですw
(´・ω・`)
久しぶりにエッチングの結果報告

実施日時:2007/6/1 20:00頃
使用基板:銅誘電体基板, Er=9.5, 0.80t

20070601エッチング基板

【各種設定】

●スピナー
回転速度700rpm
回転時間10sec

●AZレジスト塗布回数:1回

●露光時間:4min

●エッチング速度:4 or 5

【結果と検討】

マスクパターンの転写の時点で、ライン幅が狭くなる現象が見られた。
露光時間の短縮またはスピナー回転時間の短縮を検討するべきである。

エッチング速度は4が適当かと思われる。
(冬場は確か2~2.5だった。)
5に上げても、わずかに削れ残る場合がある程度。
そろそろ夏ですねw
マイクロ波回路基板をエッチングする前に、マスクパターンをカッティングによって作る必要がありますが…


AKストリップコート(マスクパターン作成用の2層フィルム)をカッティング後、上層(赤いフィルム層)の不要な部分(回路の線路以外の部分)を剥がす時に…


あまりに線路が細い場合、かなり慎重に作業を進めないと、不要な部分と一緒に必要な部分(回路の線路部分)をも剥がしてしまいます。
(;´Д`)


線路が1、2本ならいざ知らず、10本単位で作ると、時間と神経を消耗するためかなり面倒。


そこで、比較的大胆な剥がし方をしても、そうなり難い線路幅の最小値は………




0.30mm。


(´・ω・`)つ〃∩ ヘェー




※高密度で大量にDC入力用ラインを作る必要がある場合等に、参考にしてみて下さい。
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こなた基板をエッチング!

【らき☆すた】舞台探訪記
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【基板エッチング関係】
エッチング条件、結果等

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 もう一つ、k-しげ君。
 彼のオンライン研究ノートです。
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( ゜∀゜)o

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 知的で面白い記事も多いです。

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